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記者16日從中國科學院重慶綠色智能技術研究院獲悉，該院成功研制了用于微電子光刻的“2-12英寸UVLED平行光曝光模組”及用于PCB、液晶面板和觸摸屏等光刻裝備的“5KW、8KW、10KW汞燈替代UVLED光源模組”系列產品。

據中國科學院重慶綠色智能技術研究院相關項目負責人介紹，光刻機是液晶面板制造裝備中投資份額最大的關鍵裝備，其關鍵技術始終受制于國外企業，限制了行業發展。為打破液晶面板行業光刻裝備國外壟斷的局勢，針對電子信息領域對技術先進、節能環保的低成本曝光裝備需求，中科院重慶研究院開展了基于UVLED光源的新型曝光模組研究，突破了LED/LD光學擴展量求解與束角變換理論、LED多自由曲面精確配光技術、紫外波段自由曲面無機光學元件批量化制造技術、光機電系統集成等多項關鍵技術，成功研制了用于微電子光刻的“2-12英寸UVLED平行光曝光模組”及用于PCB、液晶面板和觸摸屏等光刻裝備的“5KW、8KW、10KW汞燈替代UVLED光源模組”系列產品，產品強度、均勻度等多項關鍵指標均優于國外原廠配置，并可滿足2um級線條的制作，產品技術達到國際領先水平。目前，研發團隊已與重慶方正、深南電路等大型企業達成合作協議，配合企業完成光刻裝備的升級改造，市場上該類光刻裝備超過5萬臺，產值將達50億元以上。

據悉，我國加入了《水俁公約》，2020年之前禁止進出口和生產含汞類的商品，“液晶面板低成本光刻工藝與裝備開發及應用”項目研發的UVLED光源模組為大勢所趨，采用高效節能環保的UVLED陣列作為曝光光源，通過自由曲面精確配光與復眼勻光方案，實現大面積高強度均勻曝光，滿足現有光刻機汞燈光源的升級改造需求。單從電費計算，每臺UVLED設備每年可為企業節省約8萬元的使用成本，若目前市場上5萬臺汞燈光刻裝備全部升級改造，每年可節約用電成本40億元。上述產品已申報專利15項，其中已授權發明專利2項。

針對目前的機遇與挑戰，在“重慶市液晶面板產業共性關鍵技術創新主題專項”的大力支持，重慶院同重慶京東方光電科技有限公司及重慶郵電大學合作，計劃將紫外LED光源系統引入到液晶面板光刻裝備中，以“增強液晶面板相關企業的盈利能力和競爭力，促進重慶液晶面板行業的長久發展”為目標，著力開發用于液晶面板制造的低成本光刻工藝與裝備。