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香港JBD開發2.5微米間距微型LED顯示屏

總部位于香港的Jade Bird Display LtdJBD)最近展示了2.5微米像素間距有源矩陣micro LEDAMuLED)顯示面板,該公司認為將會打破micro LED行業的紀錄。

2.5微米AMuLED顯示面板由JBD專有的混合集成技術制造。在混合集成工藝中,首先在MOCVD中在其襯底(例如藍寶石和GaAs)上生長超薄InGaN(用于藍色和綠色)和AlInGaP(用于紅色)外延層。然后將完整的外延層片與襯底晶片分離,并在低于350℃的溫度下粘合到CMOS晶片上。這種晶圓級外延轉移消除了對準鍵合的需要,并顯著提高了像素產量,均勻性和制造產量。

在外延層轉移之后,執行標準光刻和蝕刻步驟以將薄外延層薄片轉換成CMOS背板晶片上的發射器陣列。隨后通過光刻,鈍化和金屬化循環制作電接觸。

在將晶片切割成芯片之前,最終在單片晶片級刻度上在發射器上制造諸如微透鏡和反射器陣列的光學元件。為了實現所需的光準直,發射器臺面直徑被設計為像素間距的大約三分之一。因此,對于2.5μm像素間距,發射器臺面直徑小于1微米。

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