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5月27日，新華網(wǎng)以《欣奕華國(guó)產(chǎn)OLED蒸鍍機(jī) 讓顯示產(chǎn)業(yè)上游核心設(shè)備實(shí)現(xiàn)“自發(fā)光”》為題，報(bào)道了欣奕華智能機(jī)器事業(yè)群（合肥欣奕華智能機(jī)器有限公司）如何克服上游核心設(shè)備缺失，下大力氣研發(fā)OLED蒸鍍?cè)O(shè)備，解決困擾中國(guó)顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展痛點(diǎn)的相關(guān)報(bào)道。

原文如下：

近日，MicroOLED、OLED照明量產(chǎn)所使用的欣奕華 G2蒸鍍?cè)O(shè)備樣機(jī)宣布完成進(jìn)一步調(diào)試工作，將于今年內(nèi)推向市場(chǎng)，填補(bǔ)小尺寸OLED蒸鍍?cè)O(shè)備的國(guó)產(chǎn)化市場(chǎng)空白。

OLED蒸鍍機(jī)是生產(chǎn)OLED面板的核心設(shè)備之一，無論時(shí)下火熱的華為P40、OPPO find X2、一加8，還是三星GALAXY Quantum，都與它有著脫不開的聯(lián)系。智研咨詢發(fā)布《2020-2026年中國(guó)OLED面板行業(yè)市場(chǎng)專項(xiàng)調(diào)研及投資前景分析報(bào)告》顯示，2020年OLED市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到343億美元，單位出貨量增速將在2020年到達(dá)頂峰。在OLED技術(shù)借道手機(jī)市場(chǎng)全面爆發(fā)的背后，生產(chǎn)OLED面板的關(guān)鍵設(shè)備——OLED蒸鍍機(jī)長(zhǎng)期被日韓企業(yè)壟斷。如何克服上游核心設(shè)備的缺失，是困擾中國(guó)顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展的痛點(diǎn)。

OLED在生產(chǎn)工藝環(huán)節(jié)需要前、中、后三道工藝。其中，對(duì)應(yīng)的三大核心工藝技術(shù)分別為L(zhǎng)TPS驅(qū)動(dòng)電路、OLED蒸鍍工藝和薄膜封裝工藝，OLED蒸鍍是制約OLED面板良率，進(jìn)而影響產(chǎn)能的關(guān)鍵。賽迪智庫2019年10月整理公開數(shù)據(jù)顯示，截止2018年，OLED蒸鍍?cè)O(shè)備的主要生產(chǎn)商為日本佳能Tokki，市場(chǎng)占有率達(dá)到90%。據(jù)悉，佳能Tokki每年產(chǎn)能的90%均被三星包攬，OLED蒸鍍?cè)O(shè)備一機(jī)難求已成為了限制國(guó)內(nèi)面板廠商擴(kuò)大OLED產(chǎn)能的重要原因。

以往，三星和LG Display的產(chǎn)線增建導(dǎo)致OLED蒸鍍?cè)O(shè)備幾乎被買斷。近幾年，隨著韓國(guó)企業(yè)OLED產(chǎn)線的投資滯緩，京東方、維信諾、深天馬、信利等面板廠商才陸續(xù)采購到OLED蒸鍍機(jī)，逐步提升良品率。截至2018年底，京東方成都6代線綜合良品率達(dá)到70%；2019年11月，維信諾昆山5.5代線綜合良率達(dá)90%。預(yù)計(jì)到2021年，國(guó)內(nèi)面板廠商生產(chǎn)剛性和柔性O(shè)LED面板才能與三星良品率基本持平�？梢�，OLED蒸鍍機(jī)是制約行業(yè)發(fā)展的瓶頸。

欣奕華自主研發(fā)的國(guó)產(chǎn)OLED蒸鍍機(jī)正是在這樣的背景下應(yīng)運(yùn)而生�！拔覈�(guó)雖然已成為全球OLED面板生產(chǎn)的主產(chǎn)地之一，但是上游設(shè)備企業(yè)在裝備領(lǐng)域依然集中在中低端和非關(guān)鍵設(shè)備的生產(chǎn)制造階段�！毙擂热A智能機(jī)器事業(yè)群總經(jīng)理李清生說，“國(guó)內(nèi)建了很多OLED產(chǎn)線，但是OLED蒸鍍機(jī)在內(nèi)的裝備基本都依賴進(jìn)口。欣奕華希望能夠抓住機(jī)遇，幫助客戶，為中國(guó)顯示產(chǎn)業(yè)做出自己的一些貢獻(xiàn)�！�

事實(shí)上，核心技術(shù)的攻克并不簡(jiǎn)單。如果說OLED蒸鍍機(jī)是OLED面板制作工藝的心臟，那么OLED蒸發(fā)源相當(dāng)于心臟的心房。OLED蒸發(fā)源根據(jù)宏觀形狀的不同可以粗略地分為點(diǎn)型蒸發(fā)源和線型蒸發(fā)源。為了滿足厚度均一性，點(diǎn)型蒸發(fā)源材料利用率不高，部分材料蒸鍍時(shí)容易出現(xiàn)clogging或噴濺；線型蒸發(fā)源由于在坩堝加熱及傳遞過程中不同位置的熱量和溫度存在差異，使得蒸發(fā)源不同位置的有機(jī)氣體分子的熱動(dòng)能不一致，從而使不同位置的噴嘴噴出有機(jī)分子的蒸鍍速率不同，導(dǎo)致鍍膜的厚度均勻性差；更不要提在對(duì)玻璃基板各子像素進(jìn)行鍍膜時(shí)，為了鍍膜位置的精確性，在每道工序開始前都要先對(duì)基板進(jìn)行精密對(duì)位，該問題也是導(dǎo)致整個(gè)OLED面板良率不足的關(guān)鍵.....這一個(gè)個(gè)問題都是欣奕華OLED蒸鍍?cè)O(shè)備研發(fā)項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)必須解決的。

“核心技術(shù)得掌握在我們手中”，欣奕華智能機(jī)器事業(yè)群OLED事業(yè)本部負(fù)責(zé)人曹景博說，“我們努力的目的就是為了解決OLED蒸鍍機(jī)研發(fā)中的難題。”經(jīng)過無數(shù)個(gè)日日夜夜的研究、探索、實(shí)踐，欣奕華研發(fā)團(tuán)隊(duì)最終形成了完善的OLED技術(shù)研發(fā)體系，突破OLED蒸發(fā)源、OLED對(duì)位系統(tǒng)等多項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù)。其自主研發(fā)的OLED點(diǎn)型和線型蒸發(fā)源，已經(jīng)交由客戶驗(yàn)證通過，成功導(dǎo)入面板龍頭企業(yè)的量產(chǎn)線。

據(jù)了解，佳能Tokki OLED蒸鍍機(jī)被人提及最多的就是精度，把OLED有機(jī)發(fā)光材料精準(zhǔn)地蒸鍍到基板上，佳能Tokki 可以把誤差控制在3um之內(nèi)。對(duì)此，曹景博自豪地說：“欣奕華OLED蒸鍍機(jī)對(duì)位系統(tǒng)(包含G6H、G2.5、G1)的對(duì)位精度已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，部分機(jī)型甚至做到了國(guó)際領(lǐng)先，對(duì)位精度可控制在1.5um以內(nèi)。”

據(jù)悉，欣奕華于2015年正式啟動(dòng)了OLED蒸鍍系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目，公司建成了3萬平米的OLED蒸鍍機(jī)研制潔凈車間，擁有各類先進(jìn)研發(fā)設(shè)備和儀器20余臺(tái)套，組建了一支國(guó)際化高端人才團(tuán)隊(duì)，形成了完善的OLED技術(shù)研發(fā)體系，在蒸發(fā)源、真空腔體、高精密對(duì)位、封裝、工藝控制技術(shù)等方面，相關(guān)技術(shù)水平已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，正在逐步追趕國(guó)外領(lǐng)先OLED設(shè)備制造企業(yè)。

目前，欣奕華自主開發(fā)了第一款國(guó)產(chǎn)化G1 OLED蒸鍍機(jī)(玻璃基板尺寸200*200mm)，并已通過安徽省新產(chǎn)品鑒定。“該產(chǎn)品可根據(jù)客戶需求選擇精密對(duì)位或機(jī)械對(duì)位方式，對(duì)應(yīng)OLED器件研發(fā)與材料驗(yàn)證。我們的G1 OLED蒸鍍機(jī)通過了上海某高校教育部國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室裝備測(cè)試，于2017年交付使用。此外，浙江和上海的兩家OLED材料企業(yè)在采購了我們G1 OLED蒸鍍機(jī)后，都給予了很高的評(píng)價(jià)。”曹景博說。據(jù)悉，欣奕華還是國(guó)內(nèi)首家開發(fā)出G2.5（玻璃尺寸370mmx470mm）Cluster蒸鍍機(jī)和12寸AR/VR(Wafer直徑300mm)蒸鍍機(jī)的企業(yè)，進(jìn)一步填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)自主研發(fā)可量產(chǎn)OLED蒸鍍機(jī)此種機(jī)型的空白。

欣奕華能夠在OLED蒸鍍?cè)O(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、市場(chǎng)化過程中得以快速發(fā)展，得益于國(guó)家層面的高度重視以及對(duì)OLED產(chǎn)業(yè)的規(guī)范化引導(dǎo)。特別是《“十二五”國(guó)家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》中明確提出“加快推進(jìn)OLED等新一代顯示技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”，一系列相關(guān)政策陸續(xù)出臺(tái)，鼓勵(lì)和支持OLED設(shè)備、工藝及材料等方面的創(chuàng)新發(fā)展。未來，欣奕華將繼續(xù)扎根泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高端裝備制造領(lǐng)域，為我國(guó)OLED面板制造企業(yè)提供國(guó)產(chǎn)化高性能的蒸鍍系統(tǒng)，為提升我國(guó)顯示產(chǎn)業(yè)上游核心裝備的技術(shù)水平奮斗。